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소량 헬륨 가스 누출 감지기 최소 비율 5E-13 디스플레이 1E-13에서 1E-1까지2019-05-27 18:03:02 |
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초고진공 스퍼터 이온 펌프 오일 7×10-8 Pa 극압 이하2019-05-27 18:05:04 |